PI的工程团队在空气轴承技术和多轴运动平台系统方面拥有丰富的专业知识和经验。工程空气轴承定位系统的超精密性能及其非磨损特性使其成为涉及组合线性和旋转运动的半导体应用的理想解决方案。gydF4y2Ba

在上面的图片中，一个自定义的，低调的gydF4y2BaA-311空气轴承平面XY运动台gydF4y2Ba是结合精度高gydF4y2BaA-621系列空气轴承旋转台gydF4y2Ba变成一个精密的XYT组件。gydF4y2Ba

当需要更多自由度时，xy级可以与低姿态相结合gydF4y2BaZ-Tip-Tilt (ZTT)运动模块gydF4y2Ba形成五轴系统，如半导体计量应用的五自由度晶圆级，如下面的视频所示。ZTT模块还可以添加到XY-Theta阶段，用于6DOF运动应用。gydF4y2Ba

PI XY-Theta 3轴舞台组件的使用gydF4y2BaACS工业运动控制组件gydF4y2Ba．基于ACS的PI控制器采用优化配置，以获得最佳应用性能。这包括预配置的系统，具有优化的系统参数信息，可用于开箱即用操作，包括运动同步设备触发gydF4y2Ba激光控制模块(LCM)gydF4y2Ba/激光控制接口(LCI)硬件以及安全扭矩关闭等功能安全功能。gydF4y2Ba

在许多应用程序中，紧凑性对于工具集成至关重要。的gydF4y2BaV-508低轮廓线性级gydF4y2Ba/gydF4y2BaV-610低轮廓旋转工作台gydF4y2Ba直接驱动，多轴运动系统，是一个轻量级，高性能的3轴组件的例子，它非常低调，高度紧凑，技术灵活，以优化解决快速步进和沉降以及平滑协调扫描应用，误差容差范围从纳米到微米。gydF4y2Ba

高精度运动的高通量工业自动化应用通常涉及具有更高负载和加速度的重复移动。在这里,gydF4y2BaV-817系列精密自动化舞台组件gydF4y2Ba如上所示，采用直接驱动转盘，提供高加速度和高占空比运动，高效三相直线电机和扭矩电机提供高连续和峰值力。刚性级的结构和设计使用了飞机级铝合金，提供了在短时间内处理高冲击的刚度和适当的精度。精密卡车和轨道轴承实现gydF4y2Ba兼具负载特性和长运行寿命gydF4y2Ba．采用集成式高速直驱大扭矩输出旋转台，实现动态步进沉降和扫描性能。gydF4y2Ba

PI XY-Theta自动化系统根据行程、性能、负载和空间标准进行特定的伸缩。这里展示的解决方案是解决XYT运动的可用选项的一个小截面，并展示了电机、轴承、编码器和设计元素的多样化阵列，这些元素有助于使PI成为精密运动的市场领导者。gydF4y2Ba

本文中展示的XY-Theta级解决方案代表了PI内部开发的各种专有技术，包括电机、编码器、轴承以及材料和设计。PI是全球领先的多轴精密运动控制，首创高精度线性工作台，旋转工作台和gydF4y2Ba多轴阶段gydF4y2Ba用于众多高科技应用。我们一直在不断改进高精度XY-Theta多轴运动系统，并帮助许多半导体制造、激光材料加工和医疗器械制造客户实现更高的吞吐量和质量。gydF4y2Ba