准确性和重复性这两个术语经常互换使用。然而,没有重复性,精度是不可能的,但重复性是可以没有准确性。还有其他的误差,非线性误差和由热效应引起的线性误差。gydF4y2Ba
为什么在运动定位相关应用中重复性和精度不同gydF4y2Ba
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准确性和重复性这两个术语经常互换使用。然而,没有重复性,精度是不可能的,但重复性是可以没有准确性。还有其他的误差,非线性误差和由热效应引起的线性误差。gydF4y2Ba
以下是关于补偿技术可以消除哪些错误的差异和信息的详细介绍。gydF4y2Ba
重复性误差(或缺乏重复性误差)允许运动系统从任何方向反复返回空间中的同一点;这被称为双向重复性。这种类型的误差无法补偿或校准,因为它本质上是不可重复的,因此不可预测。PI专注于在设计和构建运动系统时解决这种类型的错误。系统的可重复性越高,通过补偿方法处理剩余误差的效果就越好。gydF4y2Ba
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为了获得可靠的数据,需要高质量的计量设备。为了进行精确的线性测量,采用了激光干涉仪。gydF4y2Ba
精度和可重复性的图形表示gydF4y2Ba
非线性误差是指当工作台在其行程范围内移动时不遵循直线的精度误差运动。线性阶段的精度图示例如下所示:gydF4y2Ba
定位级精度图。误差(指令位置减去干涉仪测量的实际位置)显示在Y轴上,舞台位置显示在X轴上。黑线表示多个测试运行的平均值,彩色线表示实际运行。数据在任何一个阶段位置的分布表示可重复性。gydF4y2Ba
在我们对系统进行计量之后,我们在运动控制器中应用误差补偿来校准(或纠正)系统的可重复定位误差。如果做得好,图中的黑线在零点处就会变成一条平线。gydF4y2Ba
最后,还有线性误差。这些误差通常是由热膨胀效应引起的。随着舞台结构和编码器随着温度的变化而膨胀和收缩,上图中的平坦直线变成了一条对角线。然而,由于误差是线性的,它可以很容易地通过在运动控制器或机器视觉系统中应用缩放因子来解决。gydF4y2Ba
如果这种行为是各自应用程序所关注的问题,则可以在机器中内置校准例程,其中舞台移动到空间中的一个固定点以查看基准,然后移动到另外2或3个基准。然后计算期望位置与测量位置之间的误差。然后可以根据这些测量值调整比例因子。此类校准通常定期进行,或以固定时间间隔(即每10分钟)进行,或以工艺间隔(即在每批开始之前)进行。由于热效应而引起的机器精度的任何变化都以这种方式得到照顾。gydF4y2Ba
这是不现实的,除非在非常极端(和昂贵)的情况下,尝试和建立一个运动系统,保持其精度在一个广泛的温度范围内,而不使用校准程序,如上述。gydF4y2Ba
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美国PI (Physik Instrumente)gydF4y2Ba
PI是一家私人控股公司,设计和制造世界级的精密运动和自动化系统,包括空气轴承,六足和压电驱动器,分布在北美,欧洲和亚洲。该公司成立于50年前,目前在全球拥有1300多名员工。PI的客户是高科技行业的领导者,以及光子学、生命科学、半导体和航空航天等领域的研究机构。gydF4y2Ba
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