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如何提高定位的精度与ACS动态误差补偿阶段gydF4y2Ba

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1。介绍gydF4y2Ba

精密运动系统总是表现出一定的定位不准确(或位置误差)由于各种因素。这些错误可以测量使用外部测量设备,如激光干涉仪,可以纠正通过改变运动资料根据纠错地图。能力改变运动概要文件根据预设称为动态误差补偿和校正地图是一个标准的特性在所有ACS SPiiPlus控制器使用π。gydF4y2Ba

a - 824, ACS-based运动控制器(图片:π)gydF4y2Ba

2。术语gydF4y2Ba

位置精度(也称为定位误差)被定义为理想目标位置之间的差异的系统命令移动(旅游方向)和实际地位来衡量外部计量设备,通常是一个激光干涉仪。gydF4y2Ba

目标位置的定义,实际位置,位置误差的线性阶段。(图片:π)gydF4y2Ba

3所示。误差来源gydF4y2Ba

缺陷位置精度影响的位置反馈系统(如线性编码器),传动机构,指导错误的轴承,结构的挠度的安装阶段。有关更多信息,读也gydF4y2Ba直线度、平面度的空气轴承gydF4y2Ba。gydF4y2Ba

位置精度也受到空间的位置相对于用户的负载或传感器所在阶段。这个位置称为“兴趣点”,这一点和舞台之间的距离叫做一个偏移量。阿贝误差造成的定位误差角误差运动阶段的移动部分和偏移量的大小。偏移量之间的距离越大阶段,用户的兴趣点,阿贝误差越大。图中所示,周节误差从舞台上加上阿贝抵消“h”的长度将决定阿贝误差。gydF4y2Ba

4所示。测量线性定位精度gydF4y2Ba

这个测试执行与反光镜安装阶段的移动桌子,与视神经位于用户的兴趣点。通过这样做,阿贝误差测量中获得。gydF4y2Ba

线性干涉仪设置(图片:π)gydF4y2Ba

干涉仪光学分束器放置的最后阶段,是静止的。光束路径的方向运动。gydF4y2Ba

闭环伺服控制下,舞台移动固定增量(通常每一步10 mm - 50 mm),并测量每一点。舞台移动通过其完整的多次旅行在两个方向上的长度。收集到的数据是策划和整体计算的准确性。报告的准确性和可重复性的结果通常微米。gydF4y2Ba

5。测量旋转定位精度gydF4y2Ba

执行这个测试使用英国XR20-W回转轴线校准器表安装在旋转舞台。XR20-W包括一个集成的角回射器安装在精密伺服控制轴。这个轴的角位置,相对于主体和光学住房,由一个高精度编码器控制系统规模直接加工到主轴承上。角干涉仪光学放置的最后阶段,是静止的。光学角设置创建两个光束路径。随着舞台上旋转,XR20-W counter-rotates相同。角误差计算残余旋转激光措施。gydF4y2Ba

以同样的方式,收集数据的线性精度、移动舞台固定增量(通常每一步5°- 30°),并测量每一点。舞台移动通过其全方位的旅行,在这两个方向,多传球。收集的数据是策划和整体计算错误。结果通常是在角秒或microradians报道。gydF4y2Ba