PIglide精密空气轴承阶段、组件系统

空气轴承提供优于机械轴承时无振动运动是必需的,高度恒定速度控制是至关重要的,当角重复性和几何性能必须是最优的。空气轴承阶段取代机械接触空气薄膜,避免磨损、摩擦、振动、和滞后效应。π提供线性空气轴承幻灯片,XY空气轴承表、扶轮表/纺锤波,tip-tilt阶段和3-degree-of-freedom球形空气轴承。组合的线性和旋转阶段可以提供1,2,3,4,5,6轴空气轴承解决方案。

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机动线性、垂直和旋转阶段

非机动车线性和旋转轴承

控制器和附件

π为oem经验很重要

π提供最广泛和最精密运动技术的组合。π是我们操作有着丰富的经验与空气轴承的设计和制造精密定位的产品。π是建立在超过200年的内部空气轴承经验提供线性的,平面XY,和旋转空气轴承阶段为OEM服务,工业,和研究市场。π我们也有自己的精密磨削设备位于纳舒厄,NH。全球π集团提供全面的空气轴承运动控制精度和定位产品和系统,本质上是无摩擦的,平稳精确的运动。

结合极响应工程支持和精益制造技术,π能够为其客户提供最高质量的服务。精密系统的最大性能是通过广泛的设计和分析技能,使用内部建立设备和专有技术。

定制的系统/ ACS运动控制器

除了各种标准空气轴承和机动定位阶段,完全集成专门设计的多轴定位系统的计量和加工应用程序可从π的美国设计和工程团队。ACS(π集团的一部分)运动控制器是我们的主控制器;我们有经验与其他控制器,如果客户喜欢一个不同的品牌。

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机动线性和垂直空气轴承阶段

这些阶段使用无铁心的cog-free三相线性电机或音圈电机,积分光学线性编码器和非接触式完全加载空气轴承。一些模型来选择正弦/余弦,a / B和绝对bis编码器。

a - 142迷你音圈直线滑动与空气轴承
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a - 142迷你音圈直线下滑
空气轴承,无摩擦,很快
  • 10毫米的旅行
  • 3公斤负荷
  • 5 nm编码器,0.1µm平直度
  • 75 x80mm表;27毫米的高度
  • 450毫米/秒,2 g加速度
  • 20 n推/拉力
PIglide MB空气轴承阶段是线性伺服电机驱动完全加载空气轴承和不可或缺的光学线性编码器。这一阶段提供超精密微型包。非接触式组件的组合结果无摩擦运动平台,提供了最好的性能,质量,和生活。这个阶段是适合很多高精度的应用程序,如计量、光子学对齐,光学定位和扫描。非接触式设计也使得这些阶段洁净室应用的理想选择。没有移动电缆管理。空气轴承提供了锁定稳定设计的最终位置。
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a - 141微型空气轴承的阶段
超小型空气轴承阶段
  • 40毫米的旅行
  • 3.5千克负载
  • 20纳米的分辨率
  • 57 x83mm表;38毫米的高度
  • 0.25米/秒的马克斯。速度
  • 0.35 g max。加速度
PIglide LC空气轴承定位阶段是线性伺服电机驱动完全加载空气轴承和光学线性编码器。这些非接触组件的组合结果无摩擦运动平台,提供了最好的性能,和生活质量。这些阶段是适合许多高精度应用程序,如计量、光子学对齐、半导体、平板显示器和精密扫描应用程序。非接触式设计也使得这些阶段洁净室应用的理想选择。
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a - 110 PIglide空气轴承的阶段
负担得起的设计、旅游16”
  • 2/4/8/12/16“旅游
  • 10千克负载
  • 1纳米分辨率、abs / enc选项
  • 160 x200mm表;60毫米的高度
  • 1米/秒的马克斯。速度
  • 3 g马克斯。加速度
的PIglide AT1一系列紧凑阶段线性伺服电机驱动完全加载空气轴承和一个积分光学线性编码器。这些非接触组件的组合结果无摩擦运动平台,提供了最好的性能,和生活质量。这些阶段是适合许多高精度应用程序,如计量、光子学对齐,半导体检验、平板显示器、激光加工、精密扫描应用程序。非接触式设计也使得这些阶段洁净室应用的理想选择。high-force线性电机驱动阶段最高速度在几毫秒。燕尾加载空气轴承设计在这个模型将支持正常,垂直,侧方向。
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a - 121 PIglide空气轴承的阶段
旅游到14”
  • 2/4/6/10/14“旅游
  • 10千克负载
  • 1纳米分辨率、abs / enc选项
  • 115 x115mm表;60毫米的高度
  • 1米/秒的马克斯。速度
  • 2 g max。加速度
的PIglide AT3一系列阶段线性伺服电机驱动完全加载空气轴承和一个积分光学线性编码器。这些非接触组件的组合结果无摩擦运动平台,提供了最好的性能,质量,和生活。这些阶段是适合许多高精度应用程序,如计量、光子学对齐,半导体检验、平板显示器、激光加工、精密扫描应用程序。非接触式设计也使得这些阶段洁净室应用的理想选择。high-force线性电机驱动阶段最高速度在几毫秒,轴承和大容量可以支持35公斤有效载荷。横向反对,积极预加载的空气轴承设计在这个模型将支持正常,垂直,侧方向。
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a - 123 PIglide空气轴承的阶段
大,前往30”
  • 2/4/6/10/14/20/30“旅游
  • 10千克负载
  • 1纳米分辨率、abs / enc选项
  • 210 x210mm表;85毫米的高度
  • 1米/秒的马克斯。速度
  • 3 g马克斯。加速度
PIglide VC空气轴承定位阶段与完全加载音圈驱动空气轴承和光学线性编码器。这些阶段是适合许多高精度应用程序不需要漫长的旅行,如自动对焦和扫描应用程序。非接触式设计也使得这些阶段洁净室应用的理想选择。可选的波纹管保护轴承不受污染。低移动质量意味着高加速度和快速的周转时间。
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a - 131的声音线圈定位器
快速扫描/自动对焦
  • 1“旅游
  • 可选的波纹管
  • 1纳米分辨率
  • 8 g max。加速度
v - 508交叉滚子轴承直线电机阶段,170 x170mm
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Z-Stages,抵消
自定义的例子
  • 空气弹簧、机械和磁平衡的选择
  • 定制的桥和龙门式设计
视频:视频:5轴空气轴承薄片阶段
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五轴空气轴承薄片阶段

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这个五轴阶段是基于a - 311,平面XY阶段和a - 523,使用硬件Z, Theta-X, Theta-Y阶段。应用程序是在半导体和激光加工。

视频:硬件Nanopositioning /调整阶段
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硬件Nanopositioning /调整阶段

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这个紧凑的XYZ nanopositioning阶段提供高动态和是理想的快速扫描和对齐在24/7自动化中的应用。

机动XY空气轴承阶段

平面多轴空气轴承机械轴承相比阶段阶段提供额外的优势。由于一个共同的基础X和Y轴扭矩和弯矩不存在,也不会影响几何性能(XY的直线度、平面度)运动。A322三电机阶段包含主动偏航控制使用三个马达和一个弯曲耦合元件。除了线性运动的X和Y轴,少量的旋转运动在θZ是可能的。

PIglide HS平面空气轴承阶段被设计来最大化吞吐量,同时提供终极的精度水平。这个阶段是理想的晶片检查和划线应用程序,以及其他超精密运动平板检测等应用程序。十字梁挂载到Y轴通过一个精心设计的弯曲耦合提供yaw-compliance不牺牲系统刚度。龙门轴是一个双重空气轴承设计,包含双直线电机和双线性编码器。无铁心的线性马达提供平滑的运动,没有齿轮或有吸引力的力量。增量式和绝对编码器选项可用。PIglide HS包含三个高精度线性编码器,龙门的一个桥轴和两轴。PIglide HS是加上行业领先的数字控制,提供优越的伺服更新率(5 kHz),先进控制算法来改善动态性能和误差补偿,和一套广泛的软件开发工具。
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a - 322平面空气轴承的阶段
3 &4-motor设计,花岗岩基地
  • 3模型:基地,另外,超
  • 500年x1000mm max。旅行
  • 15公斤负荷
  • 1纳米分辨率
  • 主动偏航控制弹性耦合
  • 动态误差映射
  • 1米/秒/ 2 g马克斯。加速度
PIglide XY平面空气轴承阶段是低调,高精度替代堆叠XY阶段。完全加载空气轴承冰球漂浮在X和Y方向上一个共同的基础,提供光滑,无摩擦运动。理想的检验、激光打标、显微镜、扫描、和其他精密运动的应用程序。高效,紧凑的设计节省了空间紧机的设计。无铁心的线性马达提供平滑的运动没有接头或有吸引力的力量。光学线性编码器提供位置反馈信息1纳米,这取决于插值。PIglide是可以加上各种行业领先的数字控制和驱动,提供先进的算法来改善动态性能和误差补偿和软件开发工具套件。
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a - 311平面空气轴承的阶段
紧凑、合理,艾尔基地
  • 300年50 x50mm x300mm旅行
  • 15公斤负荷
  • 1纳米分辨率
  • 重量轻,半岛基地
  • 动态误差映射
  • 2米/秒/ 2.7 g马克斯。加速度
  • 各种各样的旅游范围
  • 10千克负载
  • 1纳米分辨率
  • 动态误差映射

XY & XYZ发射开销

空气轴承和直线轴承、直线电机
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一个混合XY - 341 / XYZ龙门阶段
空气轴承和直线轴承、直线电机
  • 300×500 x1000mm XY旅行
  • 10千克负载
  • 绝对编码器,1纳米分辨率

  • Z-Stage选项:线性马达或球螺丝
  • 动态误差映射
  • 2米/秒的最大速度(横轴)
龙门XY - 351开销/ XYZ阶段
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XY - 351开销/ XYZ龙门阶段
线性轴承、线性马达
  • 300×500 x1000mm XY旅行
  • 20公斤负荷
  • 绝对编码器,1纳米分辨率

  • Z-Stage选项:线性马达或球螺丝
  • 动态误差映射
  • 2米/秒的最大速度(横轴)
- 352大型XY / XYZ龙门阶段与线性轴承、线性马达
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一个- 352大型XY / XYZ龙门阶段
线性轴承、线性马达
  • 750至1000 x750 x2000mm XY旅行
  • 30公斤负荷
  • 绝对编码器,1纳米分辨率
  • Z-Stage选项:线性马达或球螺丝
  • 动态误差映射
  • 2米/秒的最大速度(横轴)

视频:龙门式三维打印系统,激光加工软件

看到西方在光子学

π是一个- 341混合龙门系统3 d印刷、激光加工与软件在光子学西解释道

&提示/倾斜机动旋转空气轴承阶段阶段

- 621,- 623,- 624,- 627 PIglide RM机动旋转空气轴承阶段可以用在任何方向,虽然低调系列- 635 / - 637阶段的设计水平使用。高性能PIglide旋转阶段特性,low-cogging无框架无槽转矩马达,和光学编码器。可以结合各种选项创建一个解决方案适合点对点的索引或恒定速度扫描。应用包括光学对准、计量、检验、校准和扫描。这些阶段提供优越的跳动、平整度和抖动性能。因为他们是完全无摩擦,他们没有表现出分离“静摩擦阻力摩擦在操作期间。他们是理想的用于无尘室,不需要维护或润滑,有无限的生命。

PIglide RM系列电动旋转空气轴承阶段是一个完整的定位解决方案设计的精度,精度、刚度高,和易用性。他们可以用在任何方向。这些阶段特性高性能,low-cogging无框架无槽转矩马达,和光学编码器。可以结合各种选项创建一个解决方案适合点对点的索引或恒定速度扫描。应用包括光学对准、计量、检验、校准和扫描。RM阶段提供优越的跳动、平整度和抖动性能。因为他们是完全无摩擦,他们没有表现出分离“静摩擦阻力摩擦在操作期间。他们是理想的用于无尘室,不需要维护或润滑,有无限的生命。
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- 621 a - 627空气轴承旋转阶段
直接驱动,高负载
  • 2/4/6/8/12”表直径
  • 13至420公斤负载
  • 0.008µrad max。决议
  • 40到100海里平坦
  • 500 - 2500 RPM马克斯。
A-635/37 PIglide旋转阶段
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- 634 a - 638空气轴承旋转阶段
低调,大的直径
  • 6/8/14”表直径
  • 20/32/60/120kg负载能力
  • 0.03µrad max。决议
  • < 100 nm偏心度和平整度
  • 500 RPM max。
  • 自锁选项在休息
回转式空气轴承与孔径阶段
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a - 688空气轴承旋转舞台
大光圈
  • 通光孔径⌀260毫米
  • 77公斤负载能力
  • 0.0015µrad max。决议
  • 500 RPM max。
  • 平面度/偏心率< 175/300nm
  • µrad摆动:< 1
  • 直接驱动
Z-Tip-Tilt空气轴承阶段
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a - 523 Z-Tip-Tilt空气轴承的阶段
低调
  • ⌀250毫米表
  • 8公斤载重能力
  • 5毫米Z-stroke, 2°提示/倾斜
  • 10 nm / 0.06µrad增量运动
  • 1纳米传感器分辨率
  • 5毫米x 5毫米x 2°旅行
  • 40毫米高度,ø200mm
  • 空气轴承和声音线圈
  • 并联运动学
  • 控制能力
  • 6自由度的选择

控制器的电动空气轴承阶段

这些高性能控制器功能的ACS SPiiPlusEC运动控制模块和EtherCAT®的主人,并且包括ServoBoost™八轴的运动。ServoBoost™提供更好、更一致的伺服性能对噪声或(负载)系统的变化。

这一系列的动作控制器从π提供一个完全集成的电子解决方案,与控制器,驱动器和电源打包在一起。- 81 - x是一个紧凑的19英寸机架安装外壳1,2,4轴的运动,而略大- 82 x可以控制4,6或8轴。这些控制器设计和优化使用空气轴承的PIglide行阶段特性线性和旋转伺服电机直接驱动和高分辨率的编码器。
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A-824/6/8 PIglide运动控制器
高功率:4、6和8运动轴
  • 完全集成的闭环伺服放大器模块和电源
  • 2000 W连续,3900 W峰值
  • 三相刷/音圈/直流
  • 安静的PWM驱动器
  • 正弦/余弦和BiSS-C编码器
  • 20峰值输出电流/轴
这一系列的动作控制器从π提供一个完全集成的电子解决方案,与控制器,驱动器和电源打包在一起。- 81 - x是一个紧凑的19英寸机架安装外壳1,2,4轴的运动,而略大- 82 x可以控制4,6或8轴。这些控制器设计和优化使用空气轴承的PIglide行阶段特性线性和旋转伺服电机直接驱动和高分辨率的编码器。
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A-811/2/4 PIglide运动控制器
紧凑的:1、2 & 4运动轴
  • 完全集成的闭环伺服放大器模块和电源
  • 600 w电源
  • 三相刷/音圈/直流
  • 安静的PWM驱动器
  • 正弦/余弦和BiSS-C编码器
  • 10峰值输出电流/轴
a - 811 PIglide运动控制器1-Axis台式版本
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a - 811 PIglide运动控制器
1-Axis台式版本
  • 基础与驱动伺服控制器
  • 小型台式设备,外部AC / DC-P / S
  • 对三相/音圈/直流电机
  • 安静的PWM驱动器
  • 正弦/余弦和BiSS-C编码器
  • 功能安全:STO(安全扭矩)
一个先进的算法称为ServoBoost™在ACS运动控制器自动适应伺服设置加载实时变化。
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运动控制器适应不同的实时负载:ServoBoost™ACS

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一个先进的算法称为ServoBoost™在ACS运动控制器自动适应伺服设置加载实时变化。

线性/旋转/球形空气轴承(非机动车)

对于应用程序来说,它需要光滑,精确,直线运动,PIglide RB系列线性空气轴承是适合你。这些轴承可以轻易替代滚珠轴承和交叉滚子轴承幻灯片,和易于集成和使用。他们提供更好的平直度,角度偏差,比球轴承幻灯片和可重复性,特别是旅游长度除以4”。此外,由于空气轴承本身是无摩擦的,他们并没有表现出分离或运行摩擦,即使在他们的最大荷载。完全非接触,清洁空气轴承的本质意味着他们实际上是维护自由和精度不降低随着时间的推移,由于穿。
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- 101 a - 109线性空气轴承
非电动线性幻灯片
  • 50 - 1000毫米的范围内
  • x300mm 9表尺寸:50×50到300
  • 13至760公斤垂直荷载
  • 7.5到21公斤横向荷载
  • 优秀的平直度/平面度
他PIglide RT系列非机动车被动旋转空气轴承设计精度,精度、刚度高,和易用性。他们可以用在任何方向和易于集成电机和编码器完成定位解决方案。应用包括光学对准、计量、检验、校准和扫描。RT系列轴承提供优越的跳动,平坦,抖动性能。因为他们是完全无摩擦,他们没有表现出分离“静摩擦”o r摩擦阻力在操作期间。他们是理想的用于无尘室,不需要维护或润滑,有无限的生命。一个可选的高分辨率光学编码器可以添加到允许精度表角在人工操作记录。应用包括零部件检查、光学校准和阻力矩测量。
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- 601 a - 607旋转空气轴承
非电动,编码器的选择
  • 理想的光学测试
  • 2/3/4/6/8/12”表直径
  • 13至420公斤的轴向载荷
  • 5到270公斤径向载荷
  • 75 - 300 nm偏心
  • 可选的高分辨率的编码器
PIglide HB系列球形空气轴承使独特的定位和仿真研究和工业领域的应用。这些轴承提供优秀的承载力和刚度,同时允许三个轴的固有的无摩擦旋转运动。常用的零重力卫星研究球面轴承还用于精密芯片粘结和光学对准系统。极其严格的纺锤波可以使用球面轴承主轴轴的两端。这样的安排还允许动态精度校准主轴的轴通过移动一个球面轴承相对于另一个。
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- 651 a - 657球形空气轴承
3自由度
  • 理想的零重力模拟
  • 2/3/4/6/8/10/12”球体直径
  • 15至635公斤负载
  • ±45度旋转范围
的肝癌和PIglide系列手动对齐桌面可以手动调整旋转空气轴承的载荷安装在四个自由度,使对齐的载荷轴承的转动轴。调整可以在两个线性正交方向(X, Y)和两个角的方向(提示和倾斜)。桌面表面是由耐用,耐磨损,不锈钢。这个附件是理想的计量,圆度测量,测量应用程序的一部分。
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A-60x。MTT手动X-Y-Tilt平台
附加的旋转舞台
  • 理想的光学测试
  • 4自由度:X, Y,θXθY
  • 手动操作
  • 前往±3毫米,±1.25°
  • 3/4/6/8/10”表直径
  • 直接安装在A-60x / a - 62 x

附件为PIglide空气轴承产品

- 65 x。PED基座
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- 65 x。PED基座
球形空气轴承
  • 与a - 651 - 657
  • 适合卫星控制和模拟失重状态
空气对空气轴承提供阶段必须清洁,干燥,无油长期可靠性和适当的组件操作。空气中的污染物会导致降低刚度和承载力,增加摩擦,和潜在的轴承损坏。中可用2模型,π的成本有效的空气制备包是一个简单的方法来清洁空气供给,与多级过滤、压力调节、半自动下水道,和一个可选的压力开关。
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- 80 x PIglide准备工具
压力控制和空气过滤
  • 压缩空气清洁&过滤器
  • 控制供应压力
  • 可选的压力开关
  • 推荐给所有PIglide产品
  • 定制的适应性
A-10x安装脚
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A-10x安装脚
PIglide线性空气轴承
  • 对于一个线性空气轴承- 101 a - 109
  • 硬盖铝
的肝癌和PIglide系列手动对齐桌面可以手动调整旋转空气轴承的载荷安装在四个自由度,使对齐的载荷轴承的转动轴。调整可以在两个线性正交方向(X, Y)和两个角的方向(提示和倾斜)。桌面表面是由耐用,耐磨损,不锈钢。这个附件是理想的计量,圆度测量,测量应用程序的一部分。
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A-60x。MTT手动X-Y-Tilt平台
附加的旋转舞台
  • 理想的光学测试
  • 4自由度:X, Y,θXθY
  • 手动操作
  • 前往±3毫米,±1.25°
  • 3/4/6/8/10”表直径
  • 直接安装在A-60x / a - 62 x

应用实例的空气轴承、阶段和系统

π的空气轴承产品需求的各种应用和服务行业。下面的例子与π产品多样化的问题被解决。


测量

π空气轴承产品可用于构建计量系统圆度、平整度、表面轮廓或厚度测量。精密零件制造时需要测量最公差在航天、飞机、汽车、轴承、红外和精密光学、半导体、或发电机,π工程师联系设计您的系统。

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研究

π工程师联系讨论研究和开发应用程序。π的广泛的定位和控制产品可以集成到几乎任何配置的帮助达到下一个突破。

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平板显示器测试和检查

平板显示器(fpd)继续增长的规模和提高图像分辨率,对测试和检测设备的要求继续变得更具挑战性。π平面空气轴承发射阶段,可以定制以满足非常严格的精确规格在很长的旅行。

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Beamline定位

π为高端科学研究提供先进设备在大型同步加速器研究设施。线性幻灯片和回转式空气轴承主轴用于各beamline位置传感器和仪器应用程序,包括断层扫描全息术,微ct定位样本调整、显微镜和x射线扫描。

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大画幅数码印刷

数码印刷要求快速、准确的运动与精确的速度控制和非常低的角运动误差。π的长期旅行线性空气轴承的关键领先制造商的数码打印拍摄高分辨率打印机setter。轻量级轴承交付超过一米的旅行与直线度精度低至3µm。系统达到良好的速度稳定,导致优秀的打印质量。

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光学研磨

光学研磨需要非常精确和光滑的运动以达到表面光洁度要求公差。当大光学制造商需要旋转主轴跳动和平整度误差小于0.1µm集成到定制磨床,π提供了解决方案。除了优秀的准确性,优秀的刚度空气轴承主轴轴承可以承受的力量没有退化的定位精度和可重复性。

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拉伸试验

拉伸试验机器运用精确的部队,在高负载的情况下在零速度。滚动体轴承具有明显分离摩擦作用力导致违规行为。π供应主要测试设备制造商与完全非接触、线性拉伸试验机器motor-actuated阶段解决方案。由于π的丰富经验与组装极其严格的公差,复杂的总成提供更高的质量和更低的成本比制造商内部所能达到的水平。

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光学光谱法

高分辨率光谱仪实验室的主要制造商需要自定义线性空气轴承提供极其精确,tilt-free光滑的扫描镜运动。π是完全非接触组件交付可靠性和最小维护今天的实验室用户需求。

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卫星的研究

卫星姿态控制系统的研究常常需要零重力环境的模拟。π的球形空气轴承为政府和商业研究机构已经解决了这个问题。π提供完整的系统,包括安装基座和空气处理设备,支持重要负荷大范围的运动。

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半导体晶片检查和处理

半导体加工设备必须具有高可靠性和最小的粒子的一代。与传统轴承、非接触式空气轴承提供优越的可靠性和寿命与零维护。操作在一个干净的空气或氮气供应,不生成的粒子。这就是为什么半导体加工设备的主要制造商使用π空气轴承各种晶片检查、处理和传输的应用程序。

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汽车悬架测试

π开发自定义线性空气轴承的需要高负载能力的主要汽车制造商空气轴承进行车辆检测。空气轴承的支持大量没有绑定和高摩擦,典型的传统的轴承。因此,多种用途的汽车应用程序已经找到,如暂停测试和赛车的悬挂调优。

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微加工

微加工和纳米制造业需要超精密,运动平稳,高刚度和动态运动。一个空气轴承运动系统结合了所有这些方面。结合线性运动和声音线圈阶段快速伺服系统,或添加一个主轴加工应用。可以添加可选的波纹管覆盖保护阶段从尘埃和碎片。

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